德國(guó)SIOS SP 5000 DI/F超穩(wěn)定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀的簡(jiǎn)介：
超穩(wěn)定、緊湊的SP 5000 DI/F 差分干涉儀專(zhuān)為必須長(zhǎng)時(shí)間執(zhí)行高度穩(wěn)定的長(zhǎng)度測(cè)量的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。緊湊的傳感器設(shè)計(jì)即使在狹窄的空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的調(diào)整和放置，因此精密測(cè)量系統(tǒng)非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光尺。應(yīng)用需要一個(gè)外部參考點(diǎn)，通常放置在測(cè)量范圍的中間，以實(shí)現(xiàn)的測(cè)量值穩(wěn)定性。干涉儀的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也可實(shí)現(xiàn)亞納米范圍內(nèi)的長(zhǎng)度分辨率?？梢院苋菀椎剡M(jìn)行幾米的測(cè)量，因此可以使用 SP 系列的反射器。
激光干涉儀以光波為載體，利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

德國(guó)SIOS SP 5000 DI/F超穩(wěn)定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀的特點(diǎn)：
最高精度的差分長(zhǎng)度或角度測(cè)量
通過(guò)差分測(cè)量將環(huán)境影響降至較低
熱超穩(wěn)定傳感器設(shè)計(jì)，溫度靈敏度 < 10 nm/K
可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面、平面鏡反射器
測(cè)量反射器的大傾斜不變性
緊湊而堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
標(biāo)配不銹鋼傳感器頭設(shè)計(jì)
光束距離：14 毫米
可以提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
可用作具有可選接口的反饋系統(tǒng)
廣泛的觸發(fā)選項(xiàng)