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超穩(wěn)定緊湊型光學差分激光干涉儀專為必須長時間執(zhí)行高度穩(wěn)定的長度測量的應用而設計。緊湊的傳感器設計即使在狹窄的空間內也能實現(xiàn)長期穩(wěn)定的調整和放置，因此精密測量系統(tǒng)非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光尺。
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